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BALLBET全站app北方华创申请载片舟支撑杆等专利提升半导体加工设备性能|污

发布日期:2025-07-26 19:51 浏览次数:

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  专利摘要显示★★★,本公开提供一种载片舟支撑杆★★★、电极引入组件及半导体加工设备BALLBET全站app★★★。载片舟支撑杆包括依次串接的多个导电支撑段BALLBET全站app★★★,各相邻两个所述导电支撑段之间通过一绝缘部件连接★★★;每个所述导电支撑段用于支撑并电导通一载片舟★★★;以及引入通道★★★,其自最端部的所述导电支撑段依次贯通至少一个所述导电支撑段★★★,用以供电极引入组件穿入★★★,以使所述电极引入组件能够与所述引入通道所贯通和相邻的所述导电支撑段中的任意一者电连接污到你那里滴水不止的长文★★★。

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